- 德國Klauke柯勞克
 - 日本HONDA本多
 - 日本ADCMT愛德萬
 - 日本尾崎PEACOCK
 - 日本濱松HAMAMATS...
 - 日本USHIO牛尾
 - 日本松下Panasoni...
 - 日本YUMEX優(yōu)美科思
 - 日本INFLIDGE英富...
 - 日本SURUGA SEI...
 - 渡邊電氣工業(yè)株式會(huì)社
 - 矢島光學(xué)
 - Asker
 - CEDAR
 - KOEI
 - Tokuden
 - HIOS
 - NCC
 - PRINCE
 - veccl
 - MYCOM
 - KALMOR
 - RICOH
 - 日本ST
 - 日本miruc
 - PONY
 - 倉敷化工株式會(huì)社
 - NPM
 - 閉環(huán)步進(jìn)電機(jī)PULSER...
 - 同步電機(jī)
 - 步進(jìn)電機(jī)
 - 直線步進(jìn)電機(jī)
 - 直線伺服電機(jī)
 - 設(shè)施
 - 溫度計(jì)
 - 隔膜壓力表
 - 波登管壓力表
 - GPD型儀表保護(hù)器
 - 臺(tái)式油壓機(jī)
 - 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
 
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,用于要求精細(xì)顆粒管理小于等于100nm的場(chǎng)所的靜電消除,包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。
特點(diǎn)
規(guī)范
5635型AeroBar MP| 輸入電壓 | 24 V DC +/- 10% | 
|---|---|
| 輸出電壓 | 高達(dá)約13.5kv pp可調(diào) | 
| 安裝距離 | 100毫米至1000毫米(無空氣吹掃) | 
| 離子生成方法 | 
						電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式調(diào)制頻率1?33Hz  | 
				
| 離子平衡 | 
						自動(dòng)平衡調(diào)整方法 <+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v (600 mm距離)  | 
				
| 電極 | 單晶硅電極可交換 | 
| 吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N 2 | 
| *大吹掃壓力 | 310 Kpa | 
| 臭氧量 | <0.05 ppm(24小時(shí)積分值) | 
| 信號(hào)輸出 | 報(bào)警IO開集輸出 | 
| 維 | 高度78毫米x深度34毫米x長度如下 | 
| 
						450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 毫米  | 
				|
| 外觀 | ABS樹脂 | 
			擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm?
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米?ION Systems專門定義了清潔度的定義,以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個(gè)粒徑10nm的
		
