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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)，成都強勢供應(yīng)

  • 產(chǎn)品型號：9000系列
  • 產(chǎn)品廠商：日立HITACHI
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
日本日立HITACHI日立半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)，成都強勢供應(yīng) 日本日立HITACHI日立半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)，成都強勢供應(yīng)
詳情介紹：
日本日立HITACHI半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)9000系列  的詳細(xì)介紹
  1. 新的9000系列的串接式平臺，其模組腔室設(shè)計，可以提供制程使用的彈性以及未來的擴(kuò)充性。
  2. 有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設(shè)備的平臺和用戶界面標(biāo)準(zhǔn)化整合。
  3. 9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等離子體蝕刻腔室，已經(jīng)過大批量生產(chǎn)的考驗。


應(yīng)用晶圓直徑 300mm
裝置構(gòu)成 9 chambers (max.)
※
部分規(guī)格會與照片不一樣。


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