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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強勢供應

  • 產(chǎn)品型號：CS4800
  • 產(chǎn)品廠商：日立HITACHI
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強勢供應 日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強勢供應
詳情介紹：
日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）  的詳細介紹
  • 考慮了更換現(xiàn)有設備或共同使用情況下的設備占地面積和GUI*1
  • 通過**設備的研發(fā)經(jīng)驗，搭載了高精度測量技術和*新的計量應用。
  • 通過光學軸自動化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
  • 更高的圖像處理技術，實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
  • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計算機的圖形顯示器和鼠標等指示設備的軟件操作系統(tǒng)。
測量精度 1nm（3σ）（采用日立標準晶圓）
晶圓尺寸 直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動裝片裝置 2個
設備尺寸（主體） 1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米

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