多范圍/多氣體的數(shù)字式質量流量控制器 SEC-Z500X

• 概要
• 規(guī)格

概要

HORIBA銷售量**的數(shù)字式氣體質量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現(xiàn)高精度±  1.0% S.P.，快速響應，有效提高良率及簡化備件管理。

特征

• 高精度±1.0% S.P.
  HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補償。此功能實現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標準氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真實氣體精度確認。
• 高速響應
  裝載“變量PID系統(tǒng)”可實現(xiàn)兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
• 多氣體，多量程解決方案
  HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。

制造: HORIBA STEC