全部產(chǎn)品分類
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- 直線步進(jìn)電機(jī)
- 直線伺服電機(jī)
- 設(shè)施
- 溫度計(jì)
- 隔膜壓力表
- 波登管壓力表
- GPD型儀表保護(hù)器
- 臺(tái)式油壓機(jī)
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售、
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
詳情介紹：
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
概要
EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應(yīng)室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設(shè)定范圍。高分辨度的步進(jìn)式馬達(dá)和獨(dú)特的蝶形閥設(shè)計(jì)確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應(yīng)。
特征
- 適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質(zhì)本體
-
抗腐蝕
-
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
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適合對(duì)于腐蝕性氣體的使用
當(dāng)排氣端流量被調(diào)整到*佳的位置：
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抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
-
阻止了噴霧的次級(jí)沉積
-
阻止了危險(xiǎn)水蒸氣的擴(kuò)散
此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對(duì)本產(chǎn)品造成的影響更小
此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應(yīng)給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。
制造: HORIBA STEC
